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淄博高新區:聚力創“芯” 智造未來

來源:未知 日期:2019-04-30 點擊:

  “MEMS產業本身就是信息產業的一個重要發展方向,也是傳感器和智能微系統行業顛覆性技術。淄博市、高新區和清華大學選擇MEMS行業進行投資和開發,經過幾年努力已經開花結果。”中國工程院院士、清華大學副校長尤政在接受記者采訪時表示。
  
  MEMS是什么?它集中了當今科技發展的諸多尖端成果,在智能化“感知”時代,MEMS以其體積小、功耗低、靈敏度高等優點,成為智能傳感的核心交互器件,廣泛應用于國防軍事、現代工業、民用消費類電子、汽車電子、可穿戴可植入醫療等領域,是繼微電子之后又一個對國計民生具有重要影響的顛覆性技術,也是信息化、智能化的關鍵核心技術,擁有非常廣闊的應用前景。
  
  高新區準確捕捉到這一智能產業的發展趨勢,與清華大學機械工程學院成立國家高新區MEMS研究院。該研究院是微機電制造領域國內首家校地共建的研究院,借助清華大學在MEMS領域的科研和人才優勢,依托淄博集成電路產業基礎和政策優勢,共同搭建具有國際先進水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺、著力打造國家級微系統產業化基地、引領國內MEMS器件產業化進程,實現電子信息產業的跨越式發展。
  
  2018年3月,首屆中國(淄博)MEMS產業戰略高峰論壇在我市舉行。期間,高新區MEMS研究院自主研發的MEMS陀螺、加速度計、繼電器等產品正式下線。MEMS陀螺和MEMS加速度計,廣泛應用于軍用和民用的慣性產品領域,例如無人機、無人艦、自動駕駛汽車、手機以及所有可移動設備的導航功能;MEMS繼電器是極其微小的開關陣列,一個小拇指的指甲上就能擺放4個,具有高靈敏度和高可靠性,在智能手機、汽車、現代工業等領域普遍使用。研究院在研的還有MEMS微探針,是原子力顯微鏡的最重要核心部件,目前國內所有的原子力顯微鏡探針完全依賴進口,微探針的國產化,將大幅降低采購成本,打破國外壟斷,實現又一項MEMS關鍵產品的自主研發。去年5月,高新區MEMS研究院承擔的“MEMS產業研究院”項目通過山東省科技廳、淄博市科技局、高新區科技局的聯合專家組驗收,項目實施期間獲得首批市高新技術創新“雙十計劃”立項。“目前,研究院已建成國內首家MEMS專業化中試代工平臺,可為淄博本地乃至省內外客戶提供MEMS仿真設計、小試、中試以及代工服務。”高新區MEMS研究院科技管理部部長劉通說。
  
  記者在MEMS研究院投資組建的國有控股公司——山東博華電子科技發展有限公司的生產基地時看到,企業廠房面積5000平方米,分環境潔凈區、動力區、辦公區等。潔凈面積1540平方米,百級區340平方米、千級區400平方米,萬級區800平方米,超凈規模國內領先。擁有德國SUSS公司光刻機、奧德利EVG公司鍵合機、英國SPTS公司深硅刻蝕機等國際一流6英寸微納米技術制造設備,產品的測試環境也居國內先進水平。
  
  山東博華電子科技發展有限公司僅是高新區MEMS產業園區所入駐的企業之一。整個園區占地面積523畝,計劃總投資30億元,規劃建筑面積56萬平方米。目前,同方股份有限公司、臺灣點晶科技有限公司、航天704所、中國兵器集團公司、中電集團55所、哈工大電路設計公司等多家科研機構和企業已達成入駐意向。
  
  未來,在繼續完善MEMS中試代工平臺的基礎上,延伸建設MEMS設計與開發、小試與中試、封裝與測試平臺,通過淄博國家高新區MEMS研究院的技術牽引,淄博將逐步建成國家級MEMS產業基地、軍民融合發展示范基地、產學研用全產業鏈核心共性技術協同創新平臺。可以預見,這一園區將打造成全球領先的國際化MEMS相關產業集群,最終建成集研發、試驗、檢測、生產、辦公、展示與交易一體的MEMS產業示范園。


 

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